壓力傳感器的誤差構(gòu)成及減小誤差辦法

來源：www.cazsensor.com 時間：2020-05-05 09:05

壓力傳感器的誤差主要由偏移量誤差、靈敏度誤差、線性誤差和滯后誤差構(gòu)成：

1、靈敏度誤差，產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值，靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值，那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴散過程的變化。。

2、偏移量誤差。由于在整個壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定，因此變換器擴散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。

3、滯后誤差：在大多數(shù)情形中，滯后誤差完全可以忽略不計，因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。

4、線性誤差。這是一個對初始誤差影響較小的因素，該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性，但對于帶放大器的傳感器，還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線，也可以是凸形曲線。

標定可消除或極大地減小這些誤差，而補償技術(shù)通常要求確定系統(tǒng)實際傳遞函數(shù)的參數(shù)，而不是簡單的使用典型值。電位計、可調(diào)電阻以及其他硬件均可在補償過程中采用，而軟件則能更靈活地實現(xiàn)這種誤差補償工作。

一點標定法可通過消除傳遞函數(shù)零點處的漂移來補償偏移量誤差，這類標定方法稱為自動歸零。

差動傳感器的零壓力標定非常精確，因為標定壓力嚴格為0。另一方面，壓力不為0時的標定精確度取決于壓力傳感器或測量系統(tǒng)的性能。偏移量標定通常在零壓力下進行，特別是在差動傳感器中，因為在標稱條件下差動壓力通常為0。對于純傳感器，偏移量標定則要困難一些，因為它要么需要一個壓力讀取系統(tǒng)，用以測量其在環(huán)境大氣壓力條件下的標定壓力值，要么需要獲取期望壓力的。

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