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電阻式傳感器測量原理與測量電路
來源:www.cazsensor.com
時間:2020-08-19 10:08
一、測量原理
電阻式傳感器的基本原理是將被測的非電量轉化成電阻值的變化,再經(jīng)過轉換電路變成電量輸出。根據(jù)傳感器組成材料變化或傳感器原理變化,產(chǎn)生了各種各樣的電阻式傳感器,主要包括壓敏式傳感器、熱敏傳感器、光敏傳感器、濕敏傳感器壓力傳感器。

電阻傳感器可以測量力、壓力、位移、應變、加速度和溫度等非電量參數(shù)。電阻式傳感器結構簡單,性能穩(wěn)定,靈敏度較高,有的還可用于動態(tài)測量。

二、測量電路
以典型的固態(tài)壓阻式壓力傳感器為例,硅單晶材料在受到外力作用產(chǎn)生極微小應變時,其內部原子結構的電子能級狀態(tài)會發(fā)生變化,從而導致其電阻率劇烈變化。用此材料制成的電阻也就出現(xiàn)極大變化,這種物理效應稱為壓阻效應。利用壓阻效應原理,采用集成工藝技術經(jīng)過摻雜、擴散,沿單晶硅片上的特點晶向,制成應變電阻,構成惠斯登電橋(Wheatstone bridge),利用硅材料的彈性力學特性,在同一片硅材料上進行各向異性微加工,就制成了一個集力敏與力電轉換檢測于一體的擴散硅傳感器。 再給傳感器匹配一個放大電路及相關外圍部件,使之輸出一個標準信號,就組成了一臺完整的變送器稱重傳感器。
硅壓阻式傳感器一般對溫度比較敏感,但隨著集成工藝技術的進步,擴散硅敏感膜的四個電阻一致性也得到進一步提高,而且在新一代的傳感器中,原始的手工補償已被激光調阻、計算機自動修調等技術所替代,傳感器的溫度系數(shù)已經(jīng)非常小了,工作溫度范圍也大幅度提高了。